主要製品と実績
主要製品
ウエハ洗浄装置
●自動RCA洗浄装置
●自動ウェットステーション
●CMP後自動洗浄装置
●12インチウエハ洗浄装置
その他の洗浄装置
●自動石英洗浄装置
●マスク洗浄装置
●液晶ガラス基板洗浄装置
●石英ガラスルツボ洗浄装置
●ハードディスク基板洗浄装置
●全自動Si洗浄装置
●全自動インゴット洗浄装置
●スクラブ洗浄装置
●多周波超音波洗浄装置
その他装置
●12インチ自動回転エッチング装置
●HDガラス基板面取装置
●CVD排ガス処理装置
●溶剤回収装置
●自動ラッピング機
●基板研磨装置
●遠赤外線温純水装置
●電解水製造装置
●レジスト剥離装置
●スピンコーター
●液晶ガラス基板スピンコーター
●局所排気装置
乾燥機
●スピンドライヤー
●IPAドライシステム
●真空乾燥機
●遠赤外線乾燥装置
●全自動水流方式超音波洗浄装置
●モジュール式比抵抗調整機
クリーンシステム
●クリーンオーブン
●クリーンベンチ
●クリーン搬送ストッカー
●クリーン恒温恒湿保管庫
●クリーンブース
●クリーンドラフト
●クリーンコンテナ（オゾン発生装置）
●クリーン搬送ロボット
●クリーンルーム設計・製作
光触媒空気清浄機・その他
●光触媒フィルター空気清浄機
TK02U-11-28001
TK02U-11-28002
TK02U-11-28003
●高圧クリーンシステム（立型ポンプ）
●精密機械・高圧ポンプ製作修理
●省力機械・板金加工
●プラント配管
●精密部品加工
高性能光触媒空気清浄機
光触媒とは、光によって表面で酸化還元反応を起こし、有害物質や細菌を分解する性質を持つ物質です。光触媒は半導体であり、酸化チタン(TiO₂)のような金属酸化物半導体が用いられます。酸化チタン(TiO₂)に紫外線があたると表面で酸化作用や超親水化作用が現れ出ます。
機種：小型6～8帖タイプ、大型12帖タイプ
工場・学校・施設など
施設の湿度管理に最適です。
加湿器内純水タンク5リットルにて5時間のきめ細かい霧を発生させる優れものです。
上部ノズルは回転・停止と操作が可能で、吹き出しノズルの高さはお好みの長さに交換可能です（オプション）。多目的な用途にご利用できます。
電源：AC100V 50/60Hz
動作時間： 5リットルにて5時間
使用水：純水15mlに対し水6リットル
機能：加湿器内水量低下にて自動停止
塩ビ加工・機械加工製品
塩ビ加工の製品・材料・工法に関するご相談は
株式会社コーホー・テクノへお気軽にお問い合わせください