事業内容

光触媒空気清浄機

●光触媒フィルター空気清浄機
TK02U-11-28001
TK02U-11-28002
TK02U-11-28003

ウエハ洗浄装置

●自動RCA洗浄装置
●自動ウェットステーション
●CMP後自動洗浄装置
●12インチウエハ洗浄装置

その他洗浄装置

●自動石英洗浄装置
●マスク洗浄装置
●液晶ガラス基板洗浄装置
●石英ガラスルツボ洗浄装置
●ハードディスク基板洗浄装置
●全自動Si洗浄装置
●全自動インゴット洗浄装置
●スクラブ洗浄装置
●多周波超音波洗浄装置

その他装置

●12インチ自動回転エッチング装置
●HDガラス基板面取装置
●CVD排ガス処理装置
●溶剤回収装置
●自動ラッピング機
●基板研磨装置
●遠赤外線温純水装置
●電解水製造装置
●レジスト剥離装置
●スピンコーター
●液晶ガラス基板スピンコーター
●局所排気装置

乾燥機

●スピンドライヤー
●IPAドライシステム
●真空乾燥機
●遠赤外線乾燥装置
●全自動水流方式超音波洗浄装置
●モジュール式比抵抗調整機

クリーンシステム

●クリーンオーブン
●クリーンベンチ
●クリーン搬送ストッカー
●クリーン恒温恒湿保管庫
●クリーンブース
●クリーンドラフト
●クリーンコンテナ（オゾン発生装置）
●クリーン搬送ロボット
●クリーンルーム設計・製作

空気清浄機・その他

●高圧クリーンシステム（立型ポンプ）

●精密機械・高圧ポンプ製作修理・乾燥装置・省力機械
板金加工・プラント配管・PVC曲げ、丸め加工
SUS・AL精密部品加工一式